金融界3月26日音书,有投资者正在互动平台向必创科技提问:子公司卓立汉光民多号上揭橥卓立·新品 GLORIA-X450A清曜450W氙灯光源,看到运用范畴有半导体光刻,请问这个属实吗?可能运用于半导体光刻吗?
公司答复显露:您提及的新品揭橥属实。该氙灯光源可输出紫表光,用于紫表敏锐光刻胶涂覆部件特定纹途刻蚀成型的工艺,但不行掩盖半导体量产所需DUV和EUV的波长领域,不行用于血本市集普及合怀的高端光刻机光源体例中。
金融界3月26日音书,有投资者正在互动平台向必创科技提问:子公司卓立汉光民多号上揭橥卓立·新品 GLORIA-X450A清曜450W氙灯光源,看到运用范畴有半导体光刻,请问这个属实吗?可能运用于半导体光刻吗?
公司答复显露:您提及的新品揭橥属实。该氙灯光源可输出紫表光,用于紫表敏锐光刻胶涂覆部件特定纹途刻蚀成型的工艺,但不行掩盖半导体量产所需DUV和EUV的波长领域,不行用于血本市集普及合怀的高端光刻机光源体例中。